Accord entre STMicroelectronics et CEA-Leti

STMicroelectronics, fondeur franco-italien, vient d’annoncer qu’il rejoignait le programme IMAGINE de CEA-Leti et va examiner l'intégration de la lithographie par faisceau d’électrons dans ses usines.

Lithographie électronique

Le procédé, aussi appelé lithographie électronique, a le grand avantage de ne pas avoir besoin de masques, ce qui permet de réaliser des économies importantes (un jeu de masques peut coûter jusqu’à un million de dollars, soit près de 700 000 €).

Utilisant un faisceau d’électrons, cette technologie est très prometteuse, car elle n’est pas restreinte par les limites de la diffraction de la lumière, contrairement à la photolithographie. Cela signifie qu'en principe, il est possible d'atteindre une finesse de gravure d'1 nm. Par contre, cette méthode sérielle est plus lente que la projection d’un masque.

Si aujourd’hui cette limite empêche son utilisation pour la fabrication en masse de puces, elle est déjà utilisée pour la création de masques ou de circuits prototypes qui coûteraient trop chers s’il fallait leur créer un masque avant de les fabriquer.

STMicroelectronics veut plus de lithographie électronique

STMicroelectronics a pour projet d’évaluer les outils que cette technologie requiert, les défis que pose son intégration, les prototypes et compte aussi analyser les coûts. Cet accord étend pour l'instant la collaboration déjà existante entre le premier fondeur européen et CEA-Leti qui travaillent sur la lithographie électronique depuis plus de dix ans et qui utilisent des usines pilotes à Crolles, en Isère. Le père du KYRO a expliqué que ce partenariat lui permettait de continuer à exploiter cette technologie tandis que CEA-Leti profite de son expérience et de ses usines.

Source : STMicroelectronics